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真空平行光管是一種在真空環境中工作的高精度光學測試設備,通過將光學系統置于10?3~10???Pa的真空艙體內,徹底消除大氣折射、熱湍流和塵埃干擾。其核心采用反射式設計(如離軸拋物面鏡或R-C系統),配合精密溫控(±0.1℃)可實現λ/20(@632.8nm)以上的波前精度和角秒級準直性,專門用于空間望遠鏡在軌標定、極紫外光刻機光學檢測等對環境穩定性要求嚴苛的領域,是航天光學和尖端微納制造的關鍵測試裝備。