金屬鏡面加工是針對鋁、銅、鈹等金屬材料的高精度光學表面制造技術,其核心在于克服金屬材料軟質地、易產生劃痕和熱變形的加工難點。關鍵技術包括:(1)超精密金剛石單點車削,通過納米級切削深度和超高轉速(>5000rpm)實現亞微米級面形精度;(2)無應力鍍鎳磷合金層,作為拋光過渡層以填補金屬晶界缺陷;(3)化學機械拋光(CMP)結合離子束修形,將表面粗糙度降至0.5nm以下。金屬鏡面具有高熱導率和輕量化優勢,常用于紅外光學系統(如鋁制反射鏡)和空間低溫載荷(如鈹鏡),但需通過熱穩定化處理(如-196℃深冷循環)以抑制微應變,最終面形精度可達λ/20(λ=632.8nm),是低成本、快速響應光學元件的首選方案。